Руководители: Чхало Николай Иванович, к.ф.-м.н., Красильник Захарий Фишелевич, д.ф.-м.н.
Компании-партнеры: ООО «ПОЛИКЕТОН».
В рамках научного проекта разрабатываются технологии, обеспечивающие реализацию безмасочной рентгеновской литографии, включая: лабораторный лазерно-плазменный источник мягкого рентгеновского и экстремального ультрафиолетового излучения, системы формирования газоструйных, жидкоструйных и капельных мишеней для лазерно-плазменного источника излучения, системы регенерации рабочего тела, технологии изготовления многослойных рентгеновских зеркал с заданными параметрами, технологии бездеформационного крепления рентгеновских зеркал и контроля их положения, технологии изготовления и сборки объектива литографа в целом. Данные технологии разрабатываются по-отдельности на различных исследовательских стендах и доводятся на них до определенной стадии технической готовности, подразумевающей в будущем интеграцию их в единой литографической машине. Также данные технологии найдут применение и в различных аспектах исследовательской лабораторной работы, связанной с изучением элементов рентгеновской оптики.
Основная ценность данного набора технологий состоит в обеспечении технологического суверенитета страны в области работы с коротковолновым излучением, в частности с мягким рентгеновским и экстремальным ультрафиолетовым излучениями. Данные технологии являются базовыми как при проведении лабораторных исследований, так и при опытно-промышленных применений в сфере литографии для микроэлектроники. Критические технологии, применяемые в безмасочной рентгеновской литографии, найдут практическое применение в целом ряде технологических процессов таких как контроль различных поверхностей на ангстремном уровне (маски, МЭМС, поверхности рентгеновских зеркал, сверхгладкие поверхности), исследования свойств элементов рентгеновской оптики (исследования свойств многослойных рентгеновских зеркал и фильтров), исследование характеристик детекторов рентгеновского излучения, разработки новых элементов рентгеновской оптики.
