Руководитель: Воротынцев Андрей Владимирович, к.х.н.
Компании-партнеры: ООО «ПОЛИКЕТОН», Филиал РФЯЦ-ВНИИЭФ «НИИИС им. Ю.Е. Седакова», АО «НПП «САЛЮТ», ООО «СИНОР».
В рамках научного проекта создается опытное производство высокочистых материалов для микроэлектроники. Была разработана технология и создана пилотная установка для получения сверхчистого транс-1,2-дихлорэтилена (чистота 99,999999%) с производительностью до 100 кг/год, проведена апробация на площадке АО «Микрон». В настоящий момент запущено производство и осуществляются поставки в АО «Микрон» и Филиал ФГУП РФЯЦ-ВНИИЭФ «НИИИС им. Ю.Е. Седакова».
Высокочистый транс-1,2-дихлорэтилен применяется в микроэлектронной и полупроводниковой промышленности как озонобезопасный жидкий источник хлора для использования при окислении кремния и очистке трубок производственного оборудования, а также в процессах термического окисления и отжига для очистки при производстве микросхем сверхбольшой интеграции. Основная ценность продукта в обеспечении технологического суверенитета страны в области высокочистых материалов для микроэлектронной промышленности. Преимуществом продукта является высокая степень чистоты, позволяющая Российской Федерации выйти на проектные нормы 7 нм в обозримом будущем. Уникальность технологии заключается в возможности получения требуемого уровня чистоты путем комбинирования различных методов синтеза и очистки для достижения определенного уровня примесных компонентов.
